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二手光弛OTFC-1550真空电镀膜机配射频源适用:介质及金属膜包安装

¥2.8万 ≥1台起批

参数

500m00) x 7200m(D)X53700mm规格
OTFC-1550型号
否加工定制

发货地广东东莞不限供货总量20台

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产品详情

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产品参数

规格500m00) x 7200m(D)X53700mm
型号OTFC-1550
加工定制否
品牌光弛
真空室SUS304Ф1550*1800MM
电源3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa以上
基板温度350C
排气时间20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)
达到压力7. 0X10-5Pa以下
排气系统机械泵2个扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)275机械泵爱德华配套罗茨泵
离子源23 寸光驰RF离子源
蒸发源2套日本电子16P双枪
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
光学膜厚监控仪波长范围: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
光学膜厚控制HOM2- -R -VIS350A
工件架转速10rpm to 30rpm (可变)
工件架工件架：Ф1400
重量11000kg
电压220
材质铸铁

1/8

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二手光弛OTFC-1550真空电镀膜机配射频源适用:介质及金属膜包安装: ¥2.8万