SD系列
SD系列特点
传承工艺宽容，追求进化
主要型号
| 型号*1 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000 *5 | SDH6000 *5 |
抽速
[L/min] *2 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 |
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极限压力
[Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 |
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| 氮气流量[SLM] | 0～80 | 0-120 |
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| 冷却水流量[L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 |
| 消耗功率 [kW] *3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 |
| 外形尺寸 [mm] *4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 |
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| 瓦 | 第285章 | 第285章 | 380 | 第420章 | 515 |
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| H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 |
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*1) SDX节能/严酷工艺兼容机、SDT/SDH耐工艺/超严酷工艺兼容机
*2)不使用N2吹扫时的值。 *3) 最终运行时功耗的近似值。 *4) 封装尺寸。请索取外部图纸以了解详细尺寸。
*5) 我们有耐加工性优良的产品系列，请联系我们的销售代表。
规格和型号名称如有变更，恕不另行通知。 *请联系我们了解兼容的气体类型。
排气性能曲线
*排气性能曲线会根据组合而变化。
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