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参数
- 真空泵产品特性
- EBARA 荏原品牌
- EST500WN 型号
北京 朝阳区
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产品详情
北崎现货 EBARA荏原 螺杆式转子干式真空泵 EST500WN
北崎现货 EBARA荏原 螺杆式转子干式真空泵 EST500WN
干式真空泵能够处理反应副产物并排出大流量气体
兼容高温控制
抽速大
大流量排气
采用耐腐蚀材料标准
耐腐蚀性增强选项
能够在重负荷下进行处理
在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz）
油
提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
产品介绍
EST 型号使用螺杆式转子，并配备了高温功能，可将泵中的气体保持在高温，使其非常适合 CVD 等形成反应副产物的应用。 标准使用耐腐蚀材料，实现高抽速和高流量泵送，减少停机时间并有助于提高工艺效率。
规范
| 型 | 单位 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 抽速 | 升/分钟 | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |
| 极限压力 | 帕 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 连接直径 | 进气口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 50 | 西北 100 | 西北 100 | ***160 认证 | ***200 认证 | |
| 排气口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | °C | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 电源容量 | 千伏安 | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 | |
| 近似质量 | 公斤 | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 |
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产品参数
- 真空泵
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- ～15
