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江苏 苏州
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系统接口最多可达 1500 x 2 线，将输出针脚器件直接连接到测量仪器上，以便在微机电系统刺激期间执行所有参数测量。
SPEA 速率表是用于测试微机电系统加速度计和陀螺仪的多轴定位器系列。它们允许同时对多达 140 个器件进行多站点测试，同时提供***可靠的角位置、速率和加速度运动。加速度计使用恒定速度，陀螺仪测试则采用正弦角速率输入。轴由扭矩电机驱动，可确保提高位置和速度精度。
速率表易于操作：设置指令序列、使用直接移动命令和启动器件的电气测量都非常简单。
它们既可以嵌入到集成的微机电系统测试单元中（配有测试处理器和测试资源），也可以用作工程单元，连接到测试系统，以执行大规模生产以及工程和原型测试。
高多站点MEMS接触单元：并行测试高大140个器件
陀螺仪测试：素等（梯形剖面，可编程的速度、正弦和合并正弦剖面（可编程的幅度和频率）
加速度计测试：定位模式
速率精度高，无漂移，速率稳定性出色，扭转刚度高
通过DLL指示可编程运动剖面
增量式光电编码器的伺服电机运动控制系统，为增强位置和速度精度
操作过程中连续连接
HF 选配件带有预留的接线，用于不超过 25MHz的高频信号（RTA 5x6 型号）)
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