美国SMI气相色谱仪激励压力传感器SM5652-030-D-3-SR
美国SM5652系列为带温度补偿、校准的双列直插微压传感器,该传感器性能优越,可采用恒流激励或恒压激励。SM5652系列为陶瓷基底贴装高稳定压阻压力传感器芯片,利用陶瓷基底上的厚膜电阻可进行零度校正和温度补偿
SM5652特点:
微压0.15psi(SM5651/2-001) 压力量程:1Kpa
微压0.30psi (SM5651/2-003) 压力量程:2Kpa
微压0.80psi (SM5651/2-008) 压力量程:5.5Kpa
微压1.50psi (SM5651/2-015) 压力量程:10.5Kpa
微压 3.0psi (SM5651/2-030) 压力量程:21Kpa
①.恒流(H)或恒压(V)激励
②.温度补偿范围0℃-60℃之间
③.跨度校准正高达(精度)±2%
④.零点校准及温度补偿
⑤.高性能、稳定的硅芯片封装
⑥.表压(G)和差压(D)配置
SM5652应用:
1、医疗设备 呼吸机、麻醉机和监护仪
2、工业HVAC(空调)
3、水平监测
4、流量测量
5、工业控制
6、微差压变送器
7、泄漏仪、泄漏检测
8、差压变送器
9、压力校验仪
10、大气采样器
11、气相色谱仪、液相色谱仪
12、风压机
13、印染、纺织设备
14、风洞试验
15、臭氧分析仪
16、铁路上高铁和普铁产品
17、远洋轮船上产品
备注:
①、正压指的是从晶圆底部进入;增益,在工厂校准使用的是负压。
②、对于SM5652,量程为0.15psi的满量程输出是23.75mV(至26.25()。
③、测量温度超过22~58℃对于量程为0.15psi,满量程温度系数±2%FS;零点温度系数为±2%FS;对于量程为0.3psi,满量程温度系数为±0.75%FS。
④、对于量程为0.3psi,迟滞性为±0.45%FS;对于量程为0.15psi,迟滞为±0.65%FS
⑤、直线拟合,是从晶圆顶部测量的对于量程为0.3psi,线性度为±0.5%FS;对于量程为0.15psi,线性度为±2.5%FS。
⑥、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度,对于量程为0.15psi,灵敏度匹配性为5.0%FS
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