日本HORIBA堀场HF-960H酸浓度监测仪
フッ酸濃度モニタ
概要
高濃度域のフッ酸・塩酸などの測定に最適
HF-960Hは、半導体製造プロセスなどに使用されるフッ酸・塩酸濃度を高精度に測定します。専用センサのFES-510シリーズは耐薬品性の高い材質を使用していますので、高濃度域のフッ酸・塩酸管理として最適な構造です。
耐薬品性に優れたセンサ採用
特長
ワイドレンジ対応
表示レンジ自動切替
HF濃度・HCl濃度・導電率・温度の4種類の測定が可能
DC24V電源
RoHS対応品
仕様
形式 | HF-960H |
---|---|
周囲使用温湿度 | 温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと) |
電源 | DC24V ±10% 10W(max) |
保護構造 | パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型) |
質量 | 約550g |
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
適合センサ | FES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ) |
外形寸法図・他(単位:mm)