供应全新射频电源DRESSLER CESAR 1310 价格?美元

¥1.00 ≥1台起批

参数

是加工定制
AE品牌
CESAR 1310型号

发货地广东深圳 10天内发货供货总量100台

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供应德国霍廷格通快TRUMPF HUttinger trumpf-huettinger 电源维修 ¥10000.00

霍廷格HUETTINGER 德国通快Truplasma RF3012 RF3024 RF3006二手 ¥300000.00

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供应AE Pulsed Plasma PEP-2500 pulsed射频电源维修及销售 ¥10000.00

供应COMDEL CLF500H射频电源维修及销售 ¥10000.00

供应RFG 2000-2v RF generator 3kW 13.56Mhz射频电源维修及二手销售 ¥10000.00

产品详情

强大而多功能的 Cesar? 射频电源平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。

高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现化，从而使您的投资和制程生产力得到化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上找到，并显示在一个大的液晶显示屏上）带来了的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。

典型应用：

高密度等离子体化学气相淀积（HDP CVD）

等离子体增强化学气相沉积（PECVD）

刻蚀-RIE/ICP

物***相沉积

等离子清洗

优点

***的制程正常运行时间
更高的操作简易性和灵活性
无需定制组件提前期的定制化性能
长期的使用简易性，节省成本
功能
精簡的流线型设计
标准的平台包装
高效率——低发热量
200和400 VAC 的输入选择
两个模拟用户端口选择
RS-232、以太网及 Profibus 通讯
多功能前面板
便利、全面的操作菜单
CEX（相位同步）操作模式

CESAR^? 1310 RF GENERATOR
Specification


Frequency	13.560 MHz +/- 0.005%
Max output power	1000 W into a 50 ? load
Min output power	10 W into a 50 ? load
Reflected power limit	200 W
Delivered power into mismatch	20% depending on the load impedance
Load impedance	50 ?
RF connector	50 ?, N-type, female
RF power regulation mode	P forward, P delivered, or DC selfbias voltage
Regulation (of set point)	1.0 or 0.1% of full-rated power, whichever is greater, into a 50 ? load
Response time (ms)	Consult factory.
Turn off/decay time (ms)	Consult factory.
Harmonics	-50 dBc at full-rated power
Spurious content	-60 dBc max at full-rated power
Pulse mode	Yes
Pulse repetition frequency	1 to 30 kHz
Pulse repetition frequency	Consult factory.
Pulse duty cycle	1% to ***
Pulse duty cycle	Consult factory.
Pulse RF envelope rise / fall time (ms)	Consult factory.
CEX operation mode	Yes
CEX input signal as required	0 to +10 dbm
CEX output signal specifications	+3 to +10 dbm
CEX connector (50 ?)	BNC, female
Display	LCD graphic display
Display	256 x 132 dots , black / white

Interlocks and Limits


Reflected power	Yes
Overtemperature	Yes
Current limit	Yes
DC overload	Yes
RF power limit	Yes

Cooling


Cooling	Air cooling
Air cooling requirement	118 m/h³

AC Power Line


AC line voltage (1-phase)	110 VAC/230 VAC (187 AC to 253 VAC)
AC line frequency	50/60 Hz
AC line current (per phase)	6.5 A nominal line, full power
AC input power	1490 VA
Overcurrent limit (per phase)	10 A to be created by user through fuse or circuit breaker
Efficiency line to load	66% at full power, nominal line
Power factor	97% to *** at max power
AC mains connection	IEC 320 at full power

Physical Specification


Packaging	19" rack cabinet
Mounting	19" rack mounting
Weight	19.5 kg (43 lb)
Clearance	60 mm (2.36") on each side for air flow into unit
Dimensions	88 mm (H) x 483 mm (W) x 500 mm (D)
Dimensions	3.46" (H) x 19" (W) x 19.69" (D)