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供应真空镀膜电源脉冲偏压电源

参数
  • 是否进口
  • 深圳产地
  • PLDPOWER品牌
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产品详情

脉冲偏压电源



●用途:

可适用于PVD、CVD技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。


●特点:

1. 采用***的逆变技术和IGBT功率开关器件设计;
2. 采用PWM控制技术、恒流特性好、电流控制***;
3. 自动恒流输出,不随气压变化,提高沉积速率,工艺重复性好;
4. 克服靶中毒,抑制靶材弧光放电及抗短路功能,内置电子电抗,具有***的负载匹配能力;
5. LED数码电流、电压显示、清晰直观;
6. 轻巧、高效、节能。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上;
7. 模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好,可N+1备份、保障安全生产;
8. 可根据用户量身定做设计制造特种电源系统.


●主要技术项目:








    型号Type    项目ItemPLD—10kwPLD—20kwPLD—30kwPLD—40kw 输入电源电压频率(V、Hz)三相四线AC380+NAC380+NAC380+NAC380+N+15%,50/60+15%,50/60+15%,50/60+15%,50/60输出电流调节范围(A) 0~150~300~450~60稳流精度≤1%≤1%≤1%≤1%额定输出电压(DCV)670670670670负载持续率(%)85858585重量(KG)25354070外形尺寸(mm)575(D)×480(W)×250(H)绝缘等级BBBB效率(%)90909090功率因数COSΦ0.930.930.930.93外壳防护等级Ip21Ip21Ip21Ip21工作模式恒压、恒流、恒功率可任意选择,常规恒压输出外部接口本系列产品,均可设微机式PLC控制



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