MKS ENI B-3013 SPECTRUM 3013-08 3000W 半导体电源维修深圳市佳轩工业自动化有限公司从事大功率射频电源研发及第三方维修技术服务供应商,射频电源维修,匹配器维修,高压电源维修,直流电源维修,微波电源维修,曝光灯电源,维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的设备电源
凡经本公司维修过的设备均使用原装器件跟换其稳定性,修复过的设备经过本公司的测试平台带负载测试,电路板的关键部位均做绝缘喷漆处理,电路上老化的元器件(滤波电容,散热器,风扇等)均跟换或重新做散热处理,设备使用中的稳定性与可靠性。
一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源
1、AE(ADVANCED ENERGY) 2、RFPP射频电源 3、MKS/ENI射频电源 4、AD-TEC射频电源 5、COMDEL射频电源 6、DAIHEN射频电源7、HUTTINGER射频电源8、KYOSAN射频电源9、SEREN射频电源10、VEECO射频电源11、NP射频电源
二、RF MATCH(射频电源匹配)1、ADVANCED ENERGY射频电源匹配2、ASTEX射频电源匹配3、NP(NEW POWER PLASMA)射频电源匹配
4、ASTECH射频电源匹配5、SEREN射频电源匹配6、LAM射频电源匹配7、KYOSAN射频电源匹配8、ENI射频电源匹配9、DAIHEN射频电源匹配10、AMAT射频电源匹配11、TRAZAR射频电源匹配
三、高压电源
1、HiTek Power supply高压电源 2、ADVANCE HIVOLT高压电源 3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源
4、GLASSMAN高压电源 5、SPELLMAN高压电源 6、Varian高压电源 7、其他品牌
四、直流电源
1、LAMDBA ESS/EMI直流电2、Delta ELEKTRONIKA直流电源3、SORENSEN直流电4、AMETEK可编程电源5、POWER TEN直流电源
6、灯丝电源、X射线电源7、曝光灯电源USHIO(Mercury lamp power supply)
Advanced Energy Cesar 1330射频电源维修:AE(Advanced Energy) AE电源 DC直流系列维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 美国 AE 溅镀电源、RF 射 频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更的技术,更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之*电源的维修。为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、真空溅镀、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务