日本武藏MUSASHI高性能monodisupensa MOHNOMASTER螺杆泵
¥100000.00
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- SHINKO伸兴品牌
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日本武藏MUSASHI高性能monodisupensa MOHNOMASTER螺杆泵
¥100000.00
产品详情
产品结构及工作原理：
清洗头结构由两侧的超声波压力腔及中间的真空腔组成， 两侧的超声波起到把尘粒与玻璃基板分离的作用，然后通过中间的真空腔将其吸走，从而起到清洗的效果。
特性和优点：
1）1.6微米及以上的尘粒的清除率为***
2）不需要高额消耗品，不需后续烘干，降低了生产成本
3）性能持久稳定，除了过滤器的清洗更换，只需简单的维护
4）安装空间小，横向清洗性能一致
5）非接触式清洗方式避免对工件产生损伤，
6）闭环系统，避免洁净室的空气平衡被破坏
清洗试验及结果：
该试验是在我们的100级洁净室内完成的。试验结果表明，在14Kpa的工作压力下，1.6微米的Spacer粉能够被***的去除。
试验资料：
清洗材料：LCD玻璃（320mm×400mm）
尘粒：1.6微米的Spacer粉
工作压力：14kpa
清洗头与基板距离：1.5mm
清洗速度：100mm/sec
评测：放大照片
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