- 商品
- 详情
参数
- 是加工定制
- EVG品牌
- EVG560型号
上海 徐汇区
不限
产品详情
全自动多键合腔设备
加热器的尺寸=晶片直径：150毫米，200mm，300mm
接触力：10kN，20千牛，60千牛，100 kN
温度：550°C（可选650°C）
真空：0.1毫巴（标准），10E-5真空控可选
阳极键合功率：0-2.000v / 50mA
装载室：五轴机器人
工艺（配方）与GEMINI兼容
键合腔室的数目：4
客户/应用：大批量生产
为您推荐
在线问
产品参数
- 是
- EVG
- EVG560
- 键合
