技术规格
外形尺寸: W630×H1850×D900mm
腔体内部尺寸: W400×H430×D460mm
等离子激发频率: 微波,2.45GHz
微波功率: 100W到1200W可调
MFC控制的工艺气路: 2路
电源: 230/400V,50/60Hz
功率: 2.2kVA
控制单元: 触屏PLC控制器
真空规管: Pirani
重量: 350KG
主要应用: 半导体材料表面有机玷污物去除和表面活性增强
选项配置:
真空泵
臭氧过滤器
再增加最多2路工艺气路
适合散料的旋转鼓型载具
旋转工作台
推拉门
其他等离子激发频率(40Khz,13.56Mhz)
自动门
软启动和满速气体填充
侧面安装的微波源