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参数
- 低压产品特性
- 是加工定制
- 德国PINK品牌
陕西 西安
不限
产品详情
技术规格
外形尺寸： W630×H1850×D900mm
腔体内部尺寸： W400×H430×D460mm
等离子激发频率： 微波，2.45GHz
微波功率: 100W到1200W可调
MFC控制的工艺气路： 2路
电源： 230/400V，50/60Hz
功率： 2.2kVA
控制单元： 触屏PLC控制器
真空规管： Pirani
重量： 350KG
主要应用： 半导体材料表面有机玷污物去除和表面活性增强
选项配置：
真空泵
臭氧过滤器
再增加最多2路工艺气路
适合散料的旋转鼓型载具
旋转工作台
推拉门
其他等离子激发频率（40Khz,13.56Mhz)
自动门
软启动和满速气体填充
侧面安装的微波源
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产品参数
- 低压
- 是
- 德国PINK
- V80-G
- 半导体材料表面有机玷污物去除
- 微波等离子清洗机
- 外形尺寸 ：W400mmxD460mmxH430mm
