1、设备概况
1.1应用领域:晶圆甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗,高速甩干,快速烘干,效***的特点,不同晶圆尺寸,可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备,设备本身有单腔室和双腔室2种结构,体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。
1.2名称:双腔室甩干机
1.3型号:CSM870S
1.4尺寸:710mm*460mm*1850mm
1.5晶圆规格:2-6 英寸
2、主要结构特征
2.1 结构特征
双腔室甩干机主要由主轴传动部分,片盒夹具,工作腔,机架,门盖部分,洁净管路部分,电气控制等组成。
2.1.1材质:不锈钢机架+10mm PP板外壳
2.1.2设备机架:SUS304不锈钢材料,能够满足洁净室工作环境。
2.1.3腔体和载体采用耐腐蚀SUS316L不锈钢并电化学抛光。片架载体可方便更换。
2.1.4电机及转子经精密的动平衡处理,减少设备共振。
2.1.5采用专用定制无刷电机及控制器,***设备的稳定、可靠及满足系统对洁净度处理的要求。
2.1.6管路系统:PFA洁净管路
2.2工艺腔体及载体
3.1工艺腔数量∶2个 材质为不锈钢316L(腔体电解抛光处理)
3.2规格∶ 加工尺寸 2-6 英寸全高片盒,可兼容。
3.3工作转速∶ 200—2200 RPM/MIN
3.4加热功能∶ 氮气加热 腔体加热
3.5轴封:电机转轴采用氮气轴封。
2.4 纯水控制单元:
2.4.1采用扇形冲洗喷嘴。
2.4.2排水口安装电阻率探头,对腔体排水水质进行监测。
2.4.3冲洗工艺完成后,氮气将残留在冲洗管路内的去离子水吹净。
2.4.4待机时,保持回水盒内有水流入且流量可调。
2.5 氮气控制单元:
2.5.1管件阀门: SMC电磁阀、 PFA高纯管件、 PTFE气控阀门。
2.5.2氮气加热功能: 316不锈钢加热器在线加热,温度开关控制, 加热温度控制在 80℃。
2.5.3配置高洁净型减压阀,内置氮气过滤器,过滤精度 0.003μm。
2.6 防静电控制单元:
由高压发生器、氮气电离室及氮气控制通道组成。
当氮气通过高压发生器的控制区时,氮气电离充斥整个工艺腔体,形成中和平衡消除静电。
2.7颗粒度:
颗粒增加值:满足客户要求
2.8 电控单元及软件系统:
2.8.1 甩干工艺过程由 PLC 控制器+触摸屏控制,可选择设置多种用户工艺菜单,并对每 个菜单的内容如:时间、速度参数进行设置。
2.8.2系统软件还具有密码权限设置,故障显示及报警功能。设备出现故障时,系统会停止工作并显示错误信息、报警以提示更改和维修。
2.9 工艺流程:
去离子水旋转冲洗+离心甩干氮气烘干
建议工艺参数:
阶段 | 冲水 | 吹净 | 烘干1 | 烘干2 |
时间 | 60s | 30s | 200S | 100S |
速度 | 800r/min | 1000r/min | 1800r/min | 1500r/min |
介质 | 去离子水 | 氮气 | 氮气 | 氮气 |
氮气温度 | 无 | 0° | 80° | 80° |
4、主要技术参数
项目 | 主要性能指标和参数 |
加工硅片尺寸 | 2-6 英寸圆片 |
单次甩干数量 | 50片 |
工位数量(个) | 2 |
碎片率 | ≤0.01% |
颗粒增加值 | 满足客户要求 |
旋转速度 RPM/MIN | 200-2200 |
甩干时间 | 5-8min |
腔室及氮气加热方式 | 电加热器 |
氮气压力 | 0.25-0.3Mpa,氮气管接口3/8” |
氮气耗量 L/min | 80 |
纯水压力 | 0.25-0.3Mpa, 管接口3/8” |
排水管 | 40mm圆管 PVC管 |
控制系统 | 三菱PLC可编程控制器 |
显示 | 4.3寸触摸屏 |
电源 | AC220V |
整机功率 | 5 KW |
外型尺寸(深*宽*高)mm | 710mm*460mm*1850mm |
5、设计、制造、检验、安装
洁净装配车间满足高标准要求
5.1设计∶ 卖方依据本协议的全部要求,并按照行业规范,做出合理的设计,并在与买方的交流过程中,不断优化方案设计。对设备的机体、传动、动力、气动、温 控等部分的结构、选型必须留有余量,***能够长期安全、可靠、稳定地运行,为买方***产品质量提供最基本的条件。
5.2制造过程控制∶ 卖方为买方制作设备的过程中,应严格按照规定进行过程控制,***按设计要求生产出合格产品。
5.3生产的检验和验收∶ 在设备制作过程中和形成部件成品后,要进行严格的检验和试验,不合格品不得进入下一工序。
5.4搬运、存储、包装、防护和交付∶卖方应采取***产品质量的措施,这种保护应延续到交付的目的地,直至安装、调试完毕,交付买方验收。
5.5安装、调试∶卖方按行业规定进行设备的运输、调试。
6、验收
6.1 工厂检验
l 工厂检验是质量控制的一个重要组成部分。卖方需严格进行厂内各生产环节的检查和实验。卖方提供的合同设备须签发质量证明、检验记录和测试报告,并且作 为交货时质量证明文件的组成部分。
l 质量检查的范围包括原材料和元器件的进厂,部件的加工、组装、试验、出厂试验。
l 卖方检验的结果要满足本协议相关质量的要求,如有不符之处或达不到标准要求,卖方要采取措施直至满足要求,卖方发生重大质量问题时将情况及时通知买方。
6.2设备监造
l 为了***产品的内在质量,买方在设备的制造过程中需进行产品生产过程的监造和过程检验,尤其对关键的部件和材料。
l 卖方在制造过程中根据实际的生产进度,通知买方设备的阶段监造内容和检验项目,无论买方是否派人参与监造和检验,都不能免除卖方的任何合同责任。
l 监造、检验的依据为双方签署的技术协议书、经买方确认过的卖方的设计图纸和 相关的***。
l 监造、检验应尽量结合卖方的实际生产过程进行,若买方的监造代表不能按时到达,同时又没有通知卖方继续等待,为了***交货日期,卖方可正常进行生产和 检验工作,其检验结果有效,但监造代表有权事后了解、查阅检验结果。
l 监造过程中所做出的任何检验都不作为设备***验收的依据,设备的***验收以调试阶段双方签署的验收报告为准。
l 为了方便工作的开展,买卖双方***工作联络人,以方便联系和沟通,使卖方及时了解买方的变化,买方及时了解卖方的生产情况。
l 买卖双方签订商务合同后,双方共同确认设备的监造、检验大纲。
7、质量***
l 设备整机的质量***期为设备调试运转正常,性能达标验收后(即验收文件签订之日起)12 个月。
l 卖方供应的设备应符合相应的***和技术规范的要求,卖方***所提供的设备是合格的、全新及可靠的,应满足双方确认的设计条件和工艺技术规格要求,卖方提供的设备应满足买方的生产需要。
l 设备在安装、调试期间发生的任何质量问题,由卖方负责;在质保期内出现的质量问题,买卖双方应共同检查原因;如果质量问题是由于卖方的原因造成的,卖方应及时免费修理或更换,并承担相关责任。