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序号 | 主要模块 | 主要规格参数 | 备注 |
1 | 外形尺寸 | 长1600X宽1000X高1500mm | |
2 | 设备重量 | 1000KG | |
3 | 供电规格 | 220V 50±10Hz 5KW | |
4 | 用气 | 压缩空气 0.4~0.6Mpa 200L/min | |
5 | 贴装精度 | ±5µm@3sigma(校正片) | |
±10µm@3sigma(产品) | |||
6 | X、Y轴重复定位精度 | 2µm@3sigma | |
7 | Z轴重复定位精度 | 2µm | |
8 | θ轴分辨率 | 0.0043° | |
9 | 光栅尺分辨率 | 0.5µm | |
10 | X、Y轴动力模式 | 采用线性马达驱动，带编码器 | |
11 | Z、θ轴动力模式 | 采用DD马达及直线电机，带编码器 |
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