磁控溅射技术镀膜
磁控溅射技术镀膜是一种重要的物理的气相沉积镀膜技术,这种工艺可工业化批量生产。本文重点探讨了磁控溅射在光学镀膜中的应用,包括膜层设计和镀膜工艺。
光学镀膜设计
(1)减反射膜
减反射也称增透膜,这种膜主要镀在透明低折射率基底上,如玻璃上镀减反射膜,常见的膜层结构采用高、低折射率膜层叠加而成
(2)彩色镀膜 彩色镀膜主要也是在玻璃等透明基底上镀膜,其膜层材料和结构类似减反射镀膜。这种玻璃在可见光下透射和反射的颜色不同。
3)渐变反射膜 渐变反射膜是一种在不同角度观察,反射的颜色不同的膜层。这种膜层可以镀在玻璃,也可以镀在金属基底。
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磁控溅射镀机
磁控溅射镀一层薄薄的膜是工业化中***的技术性***,磁控溅射镀一层薄薄的膜技术性正运用于全透明导电膜、电子光学膜、超硬膜、耐腐蚀膜、带磁膜、增透膜、减反膜及其各种各样装饰膜,在安全和社会经济生产制造中的功效和影响力日渐强劲。镀一层薄薄的膜加工工艺中的塑料薄膜薄厚匀称性,堆积速度,靶材使用率等层面的难题是具体生产制造中非常关心的。处理这种具体难题的方式 是对涉及到无心插柳堆积全过程的所有要素开展总体的可靠性设计,创建1个无心插柳镀一层薄薄的膜的综合性布置系统软件。塑料薄膜薄厚匀称性是检测无心插柳堆积全过程的关键主要参数***,因而对膜厚匀称性综合性布置的科学研究具备关键的基础理论和运用使用价值。
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磁控溅射
(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。
(2)装饰领域的应用,直流磁控溅射,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。
(3) 在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机
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