产品参数
内部直径0.8米高度1米
水冷不锈钢炉体 日本单电子枪和离子源
双300扩散泵+英国爱德华罗茨泵+机械泵,配阻蒸,镀AR,AF都可以。英富康310晶控单探头
真空性能:5×10-4Pa,
抽速:大气到5×10-3Pa小于10分钟,
升压时间:1×10-3Pa到1×10-1Pa大于10分钟
转动夹具:球面或平面,5-20转/立式公转夹具
特点:
1.大抽速真空系统加配深冷装置,***的动态真空能力,满足高效率生产的要求。
2.装载量更大,如需镀制大尺寸平面产品,可配备平面夹具
3.配备为该系列镀膜机特殊设计的单电子枪,可使膜料面平整无坑、确保蒸发分布稳定。
4.可配置在线反射率监控系统,产品一致性好。
适用范围
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜