日本FLUORO福乐真空镊子静电笔真空泵

目录氟机械真空镊子的特点C系列（导电型）F系列（耐化学性）释放真空镊子FV-W泵专用系列

氟机械真空镊子的特点

由于我们始终如一地在内部开发、制造和销售产品，因此我们了解客户的需求，并不断收到客户开发新产品的提示。

广泛的支持

它可以处理广泛的应用，从硅片和其他晶圆到微小物品的吸附和运输。

根据输送的物品更换

根据要输送的材料，可以用晶圆吸附***、喷嘴和垫子代替。

材料的选择

根据应用，可以选择各种类型的电导率和耐化学性。

以操作员为中心进行设计

它重量轻，易于清洁，长时间使用保持稳定的性能。

真空镊子 001、002、003 和 007 有什么区别？

根据阀门的打开和关闭方法，存在差异。请看下面的操作图。

通过单击插图的按钮部分来切换状态。吸力关闭按钮可以通过单击镊子部分来打开和关闭。

001：按下按钮吸吮，松开释放
推状态：退出

002：按下按钮释放，释放吸力
→推状态：吸力

003：按下按钮释放，释放吸气（带吸力关闭按钮）
→推推吸气关闭按钮：OFF（按下状态）
状态：吸入

007：按下按钮排出，松开吸入
→推状态：吸力

C系列（导电型）

真空镊子的机身由含有碳纤维的尼龙树脂（交易卡）制成，具有优良的物理性能和导电性。此外，阀门内部部分由含氟聚合物制成，周围区域采用不损害气密性的特殊成型方法覆盖碳纤维。因此，可以像传统的F系列一样，以轻盈的启闭操作来打开和关闭阀门。（***）
吸附吸头采用PEEK树脂材料制成，具有优异的耐化学性、耐热性和韧性，并经过机加工、热处理和镜面处理，可长期使用保持性能稳定。此外，碳纳米管的加入使得在低水平的填料含量下管理高电导率成为可能。
吸附吸头有多种尺寸可供选择，每种晶圆尺寸都可以选择多种尺寸。
管材可用于 Φ3×5、Φ4×6 尺寸。

C系列（导电型）代码表示法示例

F系列（耐化学性）