Auger spectrometer LK Technologies 俄歇能谱仪路技术
Characteristics
特点
Type:
类型:
Auger
螺旋
Description
描述
System combining ELS3000 with CVD diamond growth chamber and other analysis including LEED/Auger, QMS.
els3000 CVD金刚石生长室和其他分析包括LEED /钻相结合的制度,质量管理体系。
Auger spectrometer LK Technologies 俄歇能谱仪路技术
俄歇电子能谱仪(AugerElectronSpectroscopy,AES),作为一种***使用的分析方法而显露头角。这种方法的优点是:在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高;数据分析速度快;能探测周期表上He以后的所有元素。虽然最初俄歇电子能谱单纯作为一种研究手段,但现在它已成为常规分析手段了。它可以用于许多领域,如半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等方面。俄歇效应虽然是在1925年时发现的,但真正使俄歇能谱仪获得应用却是在1968年以后。
因此技术主要借由俄歇效应进行分析而命名之。AES分析区域受激原子发射出具有元素特征的俄歇电子。
俄歇电子能谱学,是一种表面科学和材料科学的分析技术。因此技术主要借由俄歇效应进行分析而命名之。这种效应系产生于受激发的原子的外层电子跳至低能阶所放出的能量被其他外层电子吸收而使后者逃脱离开原子,这一连串事件称为俄歇效应,而逃脱出来的电子称为俄歇电子。1953年,俄歇电子能谱逐渐开始被实际应用于鉴定样品表面的化学性质及组成的分析。其特点在俄歇电子来自浅层表面,仅带出表面的资讯,并且其能谱的能量位置固定,容易分析。