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洁净室的验收测试和在线定期测试
(一)洁净室的验收测试
洁净室测试一般有三种状态。即空态、静态和动态。
空态：即洁净室的竣工状态。洁净室空调净化系统正常运行，室内无工艺设备和作业人员的状态。
静态：洁净室空调净化系统正常运行，工艺设备在无人操作情况下运行的状态。
动态：洁净室投产的正常工作状态。
验收测试一般为空态测试。有时按合同也会有静态和动态测试。验收测试的必测项目有：洁净度测试，温、湿度及其精度测试，洁净室正压测试和洁净室送风量、回风量和新风量的测试。除必须测项目以外，根据测试合同还可以有选测项目。例如：噪声、振动、风速、照度……。
验收测试报告是洁净室竣工验收的关键性文件。
(二)洁净室的在线测试
在线测试是定期或不定期的在洁净室正常工作的条件下，对洁净室的洁净度，温、湿度和正压的测试。是动态测试。在线测试结果可以反映洁净室的性能以及各种参数能否满足生产工艺的要求。
在线问
