ABL1500Z空气轴承直驱式升降台
设计特点
专为高性能扫描和检查而设计
主动空气预载在所有气垫面上
线性编码器反馈提供亚纳米分辨率
高刚性,可承受重载,并具有***几何性能
四种型号的行程从50到200毫米
整体平衡
ABL1500Z是ABL1500系列航空平台的垂直翻译版本。ABL1500Z非常适合于具有大偏移负载且要求极高精度的应用。
前沿制造业,特别是在半导体和数据存储行业中,要求的定位公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500Z具有完全主动的预紧力,极高的刚度和***几何特性,是专门为满足这些要求而设计的。
空气轴承设计,实现高动态性能
ABL1500Z在垂直和水平表面上都带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。这种设计,除了将较大的空气承载表面分布在较大的表面积上之外,还导致平台具有***刚度,非常适合重载或偏载。
Aerotech的专有制造技术可实现具有***的几何特性的载物台,并通过提供***间距,滚动,偏航,直线度和平坦度规格来化性能。
零齿槽直线电机驱动
此阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。BLMC使用无铁力,这意味着零齿槽效应和无吸引力,从而实现了***的运动平稳性。
免维护
我们的完全非接触式空气轴承,非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈装置确保了Aerotech设备所期望的高性能水平下的多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触,所以随着时间的流逝,ABL1500Z不会出现磨损或性能下降。使用寿命几乎是***的,并且由于没有润滑-只有清洁,干燥的气体-空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。
电缆管理
我们精心优化电缆弯曲半径,以确保多年无故障运行。万一发生故障,Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速简便,停机时间最少。
我们将所有客户要求的电缆,空气软管等都包含在CMS捆绑包中,以便于集成到最终系统中。两端完全连接,可轻松集成到客户的机器中。
订购信息
ABL1500Z空气轴承直驱式线性位移台
(必填)
选项 | 描述 |
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-050 | 50毫米行程 |
-100 | 100毫米行程 |
-150 | 150毫米行程 |
-200 | 200毫米行程 |
反馈(必填)
选项 | 描述 |
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-E1 | 增量线性编码器,1 Vpp放大正弦输出 |
-E2 | 增量线性编码器,0.1 µm TTL线路驱动器输出 |
-E3 | 高精度增量线性编码器,1 Vpp放大正弦输出 |
电缆管理(必填)
选项 | 描述 |
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-CMS1 | 单轴电缆管理系统 |
-CMS2 | ZT装配的电缆管理系统 |
计量(必填)
选项 | 描述 |
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-PL1 | 计量学,未经性能图校准 |
-PL2 | 具有性能图的校准计量(HALAR) |
集成(必填)
Aerotech提供标准和定制集成服务,以帮助您尽快使系统完全运行。以下标准集成选项可用于该系统。如果不确定需要什么级别的集成,或者需要对系统进行自定义集成的支持,请咨询Aerotech。
选项 | 描述 |
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-TAS | 集成-作为系统进行 测试将一组组件作为完整的系统进行测试,集成和文档化,这些系统将一起使用(例如:驱动器,控制器和平台)。这包括参数文件生成,系统调整和系统配置文档。 |
-TAC | 集成-作为组件进行 测试将单个项目作为单独的组件进行测试和集成,这些组件可以一起运送。通常用于备件,替换零件或将不会一起使用的物品。这些组件可能是也可能不是大型系统的一部分。 |
配件(需单独订购)
选项 | 描述 |
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ALIGN-NPA | 非精密XY组件 |
ALIGN-PA10 | XY组装;10 arc sec正交性。在短行程阶段,对准到7微米正交度内。 |
ALIGN-PA5 | XY组装;5 arc sec正交性。在短行程阶段,对准到3微米正交性内。 |
ABF | 空气轴承过滤套件 |