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德国PI纳米定位平台P-562.6CD具有6个运动轴精度更高
自1970年成立以来，PI（Physik Instrumente）已成为精密定位技术领域的优质制造商。PI开发和生产用于线性、旋转和垂直运动或不同轴组合的各种定位平台和致动器。从精密机械和电子技术到位置传感器技术，以及子公司 PI Ceramic 开发的压电陶瓷和致动器。我们开发的技术包括从基本解决方案到特定应用版本。
主要产品：
PI纳米定位压电挠性平台
PI微型位移台
PI线性位移台
PI线性致动器
PI旋转位移台
PI六足位移台
P-518 - P-528 - P-558 压电 Z/***/倾斜平台 大孔径，高动态
带 3 轴的 Z 轴和***/倾斜平台/带 1 轴的 Z 轴平台
Z 轴/***/倾斜角的行程范围为 200 µm / 2 mrad，闭环（开环为 240 µm / 2.4 mrad）
平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高
零间隙、高精度挠性导轨系统
采用 PICMA® 压电执行器，使用寿命长
66 毫米 × 66 毫米的净空孔径
电容式传感器实现高线性度
P-562.6CD PIMars 6 轴纳米定位平台 具有 6 个自由度的高精度纳米定位器
6 个运动轴： 3 × 线性、3 × 旋转
线性移动范围达 200 µm，***/倾斜角度达 1 mrad
平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高
采用电容式传感器，线性度
零间隙、高精度挠性导轨系统
***扫描平面度
66 毫米 × 66 毫米的透明孔径
采用 PICMA® 压电致动器，使用寿命长
***压兼容至 10-9 hPa
型号示例：
PI纳米定位平台P-562.6CD
PI纳米定位平台P-518
PI纳米定位平台P-528
PI纳米定位平台P-558
PI纳米定位平台P-527
PI纳米定位平台P-517
PI纳米定位平台P-563
PI纳米定位平台P-562
PI纳米定位平台P-561
PI纳米定位平台P-733.3
德国PI纳米定位平台P-562.6CD具有6个运动轴精度更高
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