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北崎有售 LINTEC林泰克经济型质量流量控制器 MC-10RC-06

参数

发货地北京朝阳区 2天内发货供货总量1000台

产品详情

经济型质量流量控制器MC-10RC

采用橡胶密封的质量流量控制器，具有制作周期短、成本低的特点。

适用于Ar、N2等惰性气体及Air的流量控制。由于型号固定，所以制作周期较短。

选配VR（可变流量）功能可改变流量范围。支持RS-485数字通信接口。

特点

选配规格

使用范例

PVD

在PVD溅射镀膜设备中，通常使用Ar（氩），这是一种稳定的、耐化学反应的惰性气体。如果您需要使用MFC控制Ar之类的惰性气体的流量，我们建议使用经济型质量流量控制器（MC-10RC）。

惰性气体分析、实验设备

如果流量控制的目标气体不会腐蚀密封材中的树脂部分，我们建议使用经济型质量流量控制器MC-10RC。此外，可选的VR功能可支持不同气体类型与流量范围。该产品是简单实验、分析设备的理想选择。

规格表

温度	最小压差	压差	精度	控制范围	最小F.S.	F.S.	密封材
_15~35℃	_50kPa	_300kPa	_±1%F.S.	_2~***F.S.	_10SCCM	_150SLM	橡胶

※此表仅表示一般规格的MFC。　根据选配规格变化。

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