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福建 厦门
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等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏，因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降，微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。电弧放电可出现在任何等离子辅助过程中，例如电离物***相沉积 (iPVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 和蚀刻。INFICON Sion 弧检测器可提供至关重要的第等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏，因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降，微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。电弧放电可出现在任何等离子辅助过程中，例如电离物***相沉积 (iPVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 和蚀刻。INFICON Sion 弧检测器可提供至关重要的***道防线。Sion 能够快速检测到微弧并在明显损伤或废料出现之前对其作出反应。系统可对等离子微电弧事件
进行实时检测和分析。一道防线。Sion 能够快速检测到微弧并在明显损伤或废料出现之前对其作出反应。系统可对等
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