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JEL·晶圆校准器
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还在用 AE 还是 MKS 的RF电源吗？
RF Generator System取代AE,MKS电源，是您理性的选择。
SUNSAY的RF电源跟AE和MKS的RF电源据有互换性 。同时SUNSAY是Applied，LAM，TEL的OEM厂家。
阻燃设计，不会引发火灾。
直流，交流，射频均使用特氟龙电线。
RF放大器分成多组，每组功率限制在1.5kW以下。
DC inverter分成多组，每组输出功率限制在3kW以下（成本是mks inverter的4倍）。每组inverter内置保险丝，同时每组都有各自的CPU检测电压和电流SUNSAY电源里有多达8个CPU.
每组DC inverter和RF放大器都留有2倍的余量配合过流保护开关形成多重保护。
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