概述：
TMC继续在***技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的***半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要******消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供进的主动振动和运动消除系统。
优势：
Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种独特的***低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。
Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了***的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。
规格：
性能：
应用照片：
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