半自动旋涂显影刻蚀机
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高温钛加热板
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湖北 武汉
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产品详情
加热台等用途可在光刻工艺中的涂胶后的软烘，暴光后烘，显***的坚膜，磨片粘片熔腊等，它采用整体铸造，加热板作为加热体，增强了设备的安全性。采用单片机作为控制核心部件，有极高精准的控温精度，紧凑美观。该设备对一些温度敏感材料（如晶体、半导体、陶瓷等）进行加热和装卡尤为适用。
加热台温度可达600℃，从常温加热到600℃时间不过20分钟，热台和设备主体之间的高度缘，保护其主体部分不会因为高温而损坏；
参数和型号 | 加热台 | ||
（mm） | 带盖子的型号 | 不带盖子的型号 | |
PZ 28-3TD | PZ 28-3T | ||
加热盘尺寸 | 280 x 200mm | ||
恒温加热表面尺寸 | 230 x 160mm | ||
加热温度 | ~600℃ | ||
电压 | 220V/50Hz | ||
功率 | 2000W | ||
温度均匀性误差 | ±2℃ | ||
电缆长度（标准） | 1.5米 | ||
外形尺寸 | 350 x 300mm | ||
设备高度 | 145 | 110 | |
设备重量 | 10Kg | 8Kg | |
盒盖后的密闭工作空间 | 26mm | ||
控制器特点：
1、程序控制器运作，可选择加热，冷却和停止阶段，可以进行编程；
2、利用微处理器实现加热程序编辑和控制；
4、程序记忆功能；
5、带蜂鸣自动报警，高效安全；
6、可长时间连续工作；
7、有5个档位，每个档位有三种程序设置。
参数和型号 | TR28-3T | PR5-3T |
温区范围 | ~600℃ | ~600℃ |
电压 | 220V/50Hz | |
输入功率 | 2200℃ | |
控制模式 | PID | PID/Zweipunkt |
数显高度 | 14mm | |
电缆长度(标准) | 1.8米 | |
外部尺寸 | 宽185 x 高65 x 深180mm | 宽305 x 高105 x 深105mm |
时间范围 | 分 | 9小时59分 |
1.4Kg | 2.7Kg | |
温度控制器 TR 28-3T
微处理器控制的温度控制器是对高温加热板的温度控制。 通过薄膜键盘设置温度设定值后，它由 PID 控制器保持恒定。（控制偏差 2 K 至***）。
程序控制器 PR 5-3T
微处理器控制的斜坡控制器是对高温加热板的复杂时间/温度控制。
通过按下 START 按钮，可以处理最多包含 5 个斜坡的程序块。
每个配置文件最多可以编程 5 个斜坡（斜坡由斜坡时间、保持温度和保持时间组成）。
可以保存 3 个程序配置文件。
可编程延迟时间使启动最多可提前 99 小时激活。
每个温度和时间参数都可以用自己的键选择。 这可以实现简单明了的编程。
通过将相应参数设置为 0，可以跳过单个斜坡。
在程序运行期间可以调用每个编程值以进行检查。
数据由 EEProm 备份。
这些设备还有一个用于连续控制的开关。 程序结束时蜂鸣器响起。
设备 PR5-3T 和 TR 28-3T
二极主开关；
比例范围、微分积分因子以及循环时间可单独设置；
设***限制（防止为应用程序设置无用或危险的值），
接触器输入、实际值校正、高温加热板连接插座、无损功率控制器1 ... ***、过零无干扰切换。
实际温度持续显示在两个控制器上，程序控制器还显示相应斜坡的剩余时间。
只需按一下按钮即可调出设定值。
作为选项，这些设备还提供过温保护。
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- PZ 28-3TD
