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SY供型号:BZ19-SBC-12库号:M121692小型离子溅射仪

参数
  • 溅射仪产品特性
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北京海富达科技有限公司 15年
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产品详情

<>SY供型号:BZ19-SBC-12库号:M121692小型离子溅射仪<>


<>主要性能指标:<>玻璃处理室:Φ100mm、度130mm<>试样台尺寸:Φ40mm同时放6个样品杯<>金靶尺寸:Φ58mm<>真空系统:直联旋片真空泵2L/S<>真空检测:氏计<>真空保护:20a配有微充气阀调节工作真空<>工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微充气调节<>

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