纳米定位台应用于光刻
纳米光刻是一种全新的纳米图形克制的方法,实质是将传统的模具复型原理应用到微观制造领域。先计算机将BMP图转化成灰度图,然后再通过二维扫描台,带动镀膜镜片对读取的图像信息进行优化。同时控制激光器及扫描台,完成图像的纳米定位加工。纳米光刻技术是制作纳米结构的关键,具有广阔的应用前景。
利用芯明天P12系列XY二维扫描台,可带动镀膜镜片对读取的图像信息进行优化,同时控制激光器及扫描台,两者配合完成图像的纳米级精度加工。
纳米定位台概述
纳米定位台采用黏滑原理驱动,即利用物体接触表面间的动静摩擦力实现步进位移。基于黏滑原理的单自由度纳米定位台主要由基座、致动器、导轨和摩擦块 部分组成。致动器随时间缓慢伸长,导轨与摩擦块间的相对运动速度较小,表面间摩擦力为静摩擦力,摩擦块在静摩擦力的作用下与导轨保持相对静止,共同向右移动;致动器快速收缩,北京压电推杆,导轨与摩擦块间的相对运动速度较大,表面间摩擦力为动摩擦力,压电推杆价格,导轨在致动器的作用下快速回到原位置,而摩擦块由于惯性的作用几乎没有移动。重复以上过程,则摩擦块可以连续地向右移动,压电推杆价格,而致动器和导轨保持的原位置不变。
压电促动器的三大类主要是什么?
1.压电执行元件-无机械结构 压电执行元件是外部未装配机械结构的压电陶瓷,是压电原材料经过混合、煅烧、研磨、再混合、流延、构建、层压、切割、烧结、加工、处理、极化等生产过程而制成的压电元件,极化后的压电元件具有压电效应。 压电执行元件的外形尺寸一般很小,厚度可小至1mm,对于较大压电执行元件,一般长宽上限为25mm、外径为35mm,非常适于小应用空间的应用,如焊线机线夹、移相、精密定位等。