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CMPPAD供应SH-14H不锈钢中框、铜镜面精抛布、抛光垫

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东莞市欣帕得光电科技有限公司
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产品详情

不锈钢/铜镜面抛光皮

物性说明:

品名 (ARTICLE NO): 不锈钢/铜镜面抛光皮

用途 (FOR USES) : 精抛

物理性质各项参数 ( PHYSICAL PROPERTIES )

项目

重量

厚度

密度

压缩率

弹性率

硬度

绒长

开口径

单位

g/m2

mm

g/m3

%

%

Asker C

μm

μm

测定值

539

1.54

0.35

2.9

70

60

570

50

 

(物理性质数据只是测定数值,不作为规格数值。)

(The above is not standard, but measured figures.)

产品特点:

v  材料的亲水性:

   采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,对于抛光液的濡湿性(亲水性)***.

v  基层纤维厚度的均一性:

   抛光压力及抛光液的流动量均一

v  起泡的泡囊长度均一性:

   抛光压力及抛光液的流动量均一以及抛光效率的均一性高

v  起泡的泡囊形状均一性:

   抛光液的含量均一,因此抛光效率均一性高

v  起泡的泡囊的开口口径均一性:

   抛光效率均一性高

v  基层材料采用微细纤维,厚度均一性及压力均一性都优越,抛光效***

v  绒毛长度***,良好的亲水性和抛光液流动率,通过减薄工艺,更好保持抛光后的面型精度

v  兼容性好,蓝宝石,水晶,晶片的精抛光用

    CMP抛光布广泛应用于硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、蓝宝石、水晶、金属等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体(硅片)、京瓷(蓝宝石)、并木(蓝宝石)、俄罗斯MonoCrystal(蓝宝石)、等多家公司都在使用该抛光布。



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