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参数
  • 爱发科品牌
  • 是否进口
  • 日本产地
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昆山熙日机械设备有限公司 6年
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涡轮分子泵

UTMーB 系列

UTM300B

ULVAC

采用陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省空间。高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。

特点

  • 安装方向自由
    安装方向没有限制,扩展了设备设计的自由度。

  • 搭载控制器
    控制器安装在主体上,有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。

  • 高压缩比・高排气圧力
    高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。

  • 三种法兰可供选择
    VG100、ICF152、ISO100-K三种类型的吸气口法兰可供选择。

  • 清洁真空
    在运行时以及泵停止时,碳氢化合物的回流很少。

  • 低噪音
    空载运行时的噪声在50 dB或***。(ISO-100法兰的测量值)

  • 符合标准
    CE、NRTL

用途

  • 分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统

  • 蒸发设备、溅射设备等著排气系统

  • H2、He等轻气体主排气系统







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