硅化钛粉
基本信息
中文名称:硅化钛粉
英文名称:Titanium disilicide powder
分子式:TiSi2
分子量:104.04
CAS#:12039-83-7
熔点:1540℃
密度(20℃):4.39 g/cm³
外观形态:黑色粉体
电阻率:C49ρ=60~100 μΩ·cm,C54ρ=12~20 μΩ·cm
溶解度:溶于氢氟酸,不溶于水。
储存方法:储存于阴凉、通风的库房,切忌混储,保持容器密封,远离火种,库房必须安装避雷设备。
2206001 | Titanium disilicide powder (TiSi2) | 二硅化钛粉 | 12039-83-7 | 99.5% | 5 μm |
2206002 | Titanium disilicide powder (TiSi2) | 二硅化钛粉 | 12039-83-7 | 99.9% | 5 μm |
产品用途
制备硅化钛粉的目的是为了得到低电阻的TiSi2,C54相的TiSi2具有与金属本体相当的电阻率。硅化钛(TiSi2)粉具有非常理想的特性:高的导电性,高的选择性,好的热稳定性,对硅好的吸附性,好的工艺适应性和对硅连接参数的低干扰。
硅化钛粉在集成电路器件中被广泛应用于金属氧化物半导体(MOS),金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)和动态随机存储器(DRAM)的门、源/漏极、互联和欧姆接触的制造当中。
(1)可制备一种硅化钛阻挡层;
(2)制备一种原位合成硅化钛(Ti5Si3)颗粒增强铝碳化钛(Ti3AlC2)基复合材料;
(3)制备复合功能硅化钛镀膜玻璃;
(4)制备一种半导体元件,包括一硅衬底,硅衬底上形成有栅极、源极和漏极,栅极和硅衬底之间形成有一层绝缘层;
产品优势
福斯曼硅化钛粉产品可提供微米级别等不同粒度的产品。已实现工业化生产的硅化钛粉产品粒度有5 μm。纯度可达99.5 %,99.9 %。针对实验室需求,我们一般有500 g,1 kg,等包装规格,以满足实验室研究用户的需求,可以按照客户投料数量定制包装规格。
产品展示
图 | 2206001 硅化钛粉 5 μm
图 | 硅化钛粉产品包装
源头工厂、研究开发
质量管理认证证书
库存 物流 包装展示