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吉林全自动晶圆盒清洗机厂家报价 江苏芯梦半导体设备供应

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江苏芯梦半导体设备有限公司
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江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造,吉林全自动晶圆盒清洗机厂家报价、集成电路制造、***封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造、集成电路制造、***封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。

江苏芯梦成立三年来高速发展,吉林全自动晶圆盒清洗机厂家报价,吉林全自动晶圆盒清洗机厂家报价,现有员工人数近300人,其中40%为技术研发人员,近3年营收复合增长率超***。江苏芯梦始终坚持创新,不断攀登半导体湿法装备技术高峰,自主研发的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内;自主研发的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断。 不试试怎么知道江苏芯梦半导体的设备有多好呢?吉林全自动晶圆盒清洗机厂家报价

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FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)清洗设备是用于清洗和处理半导体制造中使用的FOUP(前开式统一载具)的设备。FOUP是一种用于运输和储存半导体晶圆的载具,通常由塑料材料制成,具有前开式设计和统一的尺寸标准。FOUP清洗设备的作用是将FOUP清洗干净,去除表面的污染物和颗粒,以确保在半导体制造过程中使用的晶圆始终保持良好的洁净度。FOUP清洗设备通常具有以下主要组成部分:清洗舱:清洗舱是FOUP放置和清洗的区域。它通常包括一个容纳FOUP的托盘或夹具,并配备喷淋装置、超声波清洗器、喷气装置等清洗装置。气流系统:气流系统用于提供洁净的气流环境,以防止新的颗粒进入FOUP。它通常包括高效过滤器和空气净化系统,以确保提供高质量的洁净气氛。控制系统:控制系统用于监控和控制清洗设备的运行。它包括传感器、执行器和计算机控制单元,用于监测和调节清洗过程中的温度、压力、时间等参数。水处理系统:水处理系统用于提供清洁的水源,用于清洗FOUP。它通常包括反渗透系统、离子交换器和过滤器,以去除水中的离子、颗粒和有机物。吉林全自动晶圆盒清洗机厂家报价我司设备采用***的控制系统,确保生产过程稳定可靠!

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提供各种半导体片盒、FOUP、FOSB清洁方案客户定制清洗方案做到360度***清洗,并防止细菌滋生专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现超微精密清洗,节能设计;高效干燥技术,AMC化合物去除技术全生产过程实时监控,兼容自动传输系统(AMHS);SEMI通讯标准兼容GEM300,符合SEMIS2、S8标准高产量,占地面积设计。

我们的晶圆盒清洗机采用***的自动化控制技术,能够自动完成清洗和干燥的过程,无需人工干预。具有高效的清洗和干燥功能,确保晶圆盒表面干净无尘、干燥无水痕。同时,我们的晶圆盒清洗机具有多种智能功能,能够自动识别晶圆盒类型,自动调整清洗和干燥的参数,***清洗和干燥的效果稳定可靠。操作简单,维护方便,降低使用成本。选择我们的晶圆盒清洗机,让您的晶圆生产更加智能化、自动化!

全自动晶圆盒清洗机(Fully Automated FOUP Cleaner)[1]:适用场景:用DIW/有机溶剂(可选)实现FOUP清洁,通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点:清洗对象:6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成:旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统(可选)等机构组成。清洗能力:8只FOUP/小时(依配置的清洗腔真空腔数量而定)。干进干出。人工分离FOUP、POD,人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗,可正反调速旋转,对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构,防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护,降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制,主轴震动值可监测。可预设多条Recipe,操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 江苏芯梦的设备操作简便,适用于各种生产场景,提高效率!

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功能优势:

1.符合SEMI行业标准,兼容自动传输系统(AMHS);

2.专项研发FOUP-水气清洁管路与腔体清洁环境,Class10级微型洁净环境空间;

3.Robot动态曲线搬运,防止交叉污染,FOUP分体清洁,清洁控制系统;

4.设备与腔体工艺化无菌处理,防止细菌滋生;

5.专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现超微精密清洗,节能设计;

6.高效红外干燥技术,AMC控制技术;

7.以高质量,高产量、节能为理念,占地面积设计.

软件功能:

1.通讯标准符合SEMISECS/GEM300协议、E84OHT等通讯;

2.整机设计符合SEMIS2、S8、F47设计标准(国际莱茵TUVSEMI证书).

3.工控机PC与PLC实现设备安全闭环控制,PC负责Host通讯与Robot调度,PLC负责各单元功能控制与IO处理.

4.友好的人机界面. 购买晶圆盒清洗机推荐您选择江苏芯梦半导体设备有限公司!天津全自动FOSB清洗机联系人

江苏芯梦为广大客户提供性能优异的高性价比生产设备,助力中国企业升级转型!吉林全自动晶圆盒清洗机厂家报价

半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机

(Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner)

适用场景:在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥

设备特点:

1、清洗对象:12寸FOUP

2、设备主要构成:清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成

3、清洗能力:24只FOUP/小时(依配置的清洗腔中真空腔数量而定)

4、干进干出;

5、可与AMHS对接、可人工上料;

6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗;

7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能;

8、可预设多条Recipe,操作简洁;

9、选配SECS/GEM接口;

10、实时记录生产数据,多种数据分析功能;

11、可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸:L4000mmXW3600mmXH3300mm 吉林全自动晶圆盒清洗机厂家报价

江苏芯梦半导体设备有限公司在同行业领域中,一直处在一个不断锐意进取,不断制造创新的市场高度,多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准,在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业***,成绩让我们喜悦,但不会让我们止步,残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志,和谐温馨的工作环境,富有营养的公司土壤滋养着我们不断***创新,勇于进取的***潜力,江苏芯梦半导体设备供应携手大家一起走向共同辉煌的未来,回首过去,我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜,相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围,我们更要明确自己的不足,做好迎接新挑战的准备,要不畏困难,激流勇进,以一个更崭新的精神面貌迎接大家,共同走向辉煌回来!

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