半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空,空调两器真空氦检漏仪器生产厂家,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,空调两器真空氦检漏仪器价格,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,河北空调两器真空氦检漏仪器,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏方法比较多,空调两器真空氦检漏仪器哪家好,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。
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氦气检漏的基本功能(部分功能可选配)
1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验;
2、对被检工件抽真空;
3、对被检工件充注氦气;
4、真空箱法氦质谱检测,自动判断工件漏率合格与不合格;
5、回收并循环使用氦气;
6、如果氦气浪费严重,可以将使用过程中浓度不合格的氦气进行提纯
7、PLC控制,触摸屏操作,自动检测。
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