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华恒智能半导体 陶瓷基板光刻机

参数
  • 广东华恒品牌
  • TC100型号
  • 光刻机产品别名
广东 东莞 60天内发货 100台
广东华恒智能科技有限公司
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产品详情

华恒智能光刻机

设备参数及规格:

1 外型尺寸( L*W*H ):1000*800*1800 mm

2 整机重量 :800kg

3 基材尺寸 :≤132mm*125mm(片料)20mm*10mm(颗粒)10mm*5mm(颗粒)

4 菲林尺寸 :2、4、6 寸铬版(对应三个治具)

5 对位精度 :±0.001mm

6 生产效率 :˂15S/ 片

7 光源解析能力 :5/5μm(产品要求)


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