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一、真空泵选型及参数
序号 名称及规格 参数 备注
01 炉体尺寸 φ100×600
02 极限真空度 ＜8.0×10-4pa
＜6.0×10-6torr 无炉胆空载状态
03 机组使用真空度 ＜1.0×10-3pa
＜7.5×10-6torr
04 机组抽速 600L/S 分子泵
05 泵抽速 6L/S TRP-24
06 抽气口法兰 LF160
07 启动时间 小于8min
08 到达使用真空度所需时间 ≤2h
09 冷却方式 水冷 水温＜25℃
10 总功率 约3kw
11 电 源 220V/380V 50HZ
二、真空系统说明
1、真空系统为分子泵机组：即为分子泵+旋片泵,FF160+TRP-24；由分子泵、旋片真空泵、充气阀、高真空档板阀（主阀）、高真空档板阀（预抽阀）、高真空档板阀（出口阀）、管路充气阀、连接管路、密封圈、复合真空计及配电柜等组成的抽气系统。
2、本机组不适宜抽除对金属有腐蚀作用和对泵油起化学反应的气体。它可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、太空模拟实验装置等设备的高真空获得装置。工作环境温度5~40℃，相对湿度不大于85%，冷却水温度25℃+5℃。
3、真空度与真空泵的抽气能力、舱室的密封性以及舱室内部材料（炉体内壁、实验器件、热沉等）的放气量有关，本机组的极限压力为5.0×10-4pa（3.75×10-6torr）,带空炉体无负载极限压力为8.0×10-4pa（6.0×10-6torr），实际加温时的使用压力为1.0×10-3pa（7.5×10-6torr），抽气时间约为2小时。
4、分子泵不能单独形成抽气，必须由泵将系统压力降低至扩散泵要求启动的压力之内，一般为≤10pa（7.5×10-2torr），本机组采用旋片TRP-24。
5、为了防止泵中的真空油在停泵时返流入扩散泵泵腔内，必须在真空的进气口配电磁阀，在停泵时自动将系统管路隔离。
6、阀门均采用气动动方式，操作方便。
7、在开始抽气时 ,此系统中设置有预抽管路,被抽气体不经过分子泵而由泵直接抽出,这样做可避免被抽容器中气体对扩散泵的污染（水分、挥发物、杂），待被抽容器压力降低至10pa（7.5×10-2torr）时,关闭预抽阀、开启挡板阀,分子泵开始对被抽容器开始正常抽气。
三、主要参数：
指 标 值
设计功率 12KW
额电压 380V
设计温度1200℃
工作温度 1100℃
升温速率 ≤0.1-15 ℃/min （自由调节）
加热区 600mm
恒温区 400mm
控温区 1区
炉管材 高纯石英管
炉管直径 Φ100mm
控温精度 ±1℃
控温方式 可控硅移相调压+PID调节+程序升降温
热电偶型号 S型 双铂铑
加热元件 U型硅碳棒
重量 约240Kg
炉膛材料 氧化铝纤维
炉壳表面温度 ≤42℃
密封方式 双硅橡胶圈，不锈钢金属法兰
随机附件 硅碳棒2支、O型硅橡胶圈4个、隔热塞4个、不锈钢钩1把、火手套1双、高温手套1副
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