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产品详情
输入输出信号
0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)
流量规格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM
调节阀类型：常闭型
量程比：2-100FS或者50:1
流量分辨率：0.1%FS
准确度：1%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
线性：0.5%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
重复精度：0.2%FS
相应时间：小于2S
工作压差范围：0.1-0.5MPA 小于10SLM
0.1-0.3MPA 大于10SLM
大耐压：3MPA
工作环境：5-45度
电缆接头：DB15pin(针形）
输入输出信号：0-5V（输入抗阻大于100K欧 输出电流不大于3MA）
供电电源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA
对外单点泄漏
≤1X10 9Pa. m2/S (He)
介质接触材质
316，316L， 密封填料
VCR型接头: 1/4"
管道接头尺寸
双卡套型接头: 1/8”、1/4"、3/8”或φ3、中6、φ8、φ10 mm
外形尺寸
长X宽X高: 127X30X 100 mm
净重量
0.88kg
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产品参数
- M390287
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