天津瑞利光电科技有限公司优势经销美国Aerotech空气轴承直驱旋转平台ABRS
产品型号:ABRS150MP
关键字:AEROTECH空气轴承直驱旋转平台ABRS
关键字描述:Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以超薄的外形提供了角度定位,速度稳定性和误差运动性能。
产品介绍:
直接驱动,无槽,无刷伺服电机
零齿槽电机, 速度稳定性
误差运动和摆动性能
直联式高精度旋转编码器
薄型平面设计
没有机械接触
Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以超薄的外形提供了角度定位,速度稳定性和误差运动性能。ABRS旨在满足晶圆检查,高精度计量,X射线衍射系统,光学检查和制造以及MEMS /纳米技术设备制造的严格要求。
紧凑包装
ABRS系列直接驱动旋转平台的设计已经过优化,可大程度地减少平台高度。平台的低矮外形降低了系统的有效工作高度,从而减少了与“堆积”有关的错误。除了较低的总高度外,ABRS系列还提供了一个通孔,可用于产品直通,激光束传输,电缆间隙或特定应用的要求。
机械设计
ABRS设计具有大的空气轴承表面,具有很高的刚度和承载能力,不仅产生 轴向和径向误差运动,而且产生 的倾斜误差运动。所产生的面误差运动明显优于其他旋转式空气轴承工作台和主轴, 受益于需要 平面性能的应用。
无刷直驱
为了更好的定位性能,ABRS系列采用了Aerotech的S系列无槽无刷电机。电机采用磁路设计,可产生高扭矩输出,而产生的热量 少。无槽设计本质上是零齿槽和无转矩纹波。这使得ABRS位移台非常适合需要低速或高速扫描速度的应用。
准确定位
光学编码器是ABRS的标准配置。与Aerotech的反馈乘法器和控件配合使用时,分辨率可达到<0.03弧秒。
定制设计
定制版本的ABRS可用于费率表和惯性制导试验台应用。
参数:
宽度:150 mm
桌面直径:128.1 mm
高度:80 mm
孔径:8 mm
总行程:360°连续
总线电压:80 VDC
基本编码器分辨率:3600行/转
转速:max.300 rpm
精度:±3角秒
双向重复性:<2弧秒
负荷
轴向:8 kg
径向:4 kg
倾斜:3 N-m
轴向误差运动(同步):<175 nm
径向误差运动(同步):<450 nm
倾斜误差运动(同步):<9.7 µrad(<2.0弧秒)
轴向误差运动(异步):<20 nm
径向误差运动(异步):<20 nm
倾斜误差运动(异步):<0.4 µrad(<0.08弧秒)
工作压力:80 psig(5.5 bar)+ 0 psig(0.0 bar)/-10 psig(0.7 bar)
空气消耗:<56.6 SLPM(<2 SCFM)
材料:铝
表面:硬涂层(62洛氏硬度)
惯性卸载:3850 kg-mm2
总质量:4.8公斤
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