质量流量控制器/流量计/热式质量流量计 型号:CS200A
库号:M400064
• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,了传感器线性。
• CS200产品严格按照SEMI标准制造,尺寸符合通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
• 产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
CS200A,甲烷,2SLM,8mm卡套,RS485通讯,大工作压力0.45MPa,压差0.05-0.35MPa
技术参数
类型: CS200-A
阀类型:常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭
流量规格(N2):(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
准确度:±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
线性:±0.5% F.S.
重复精度:±0.2% F.S.
响应时间:≤ 1sec
工作压差范围:
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM,<0.02 MPa
大工作压力:0.45MPa
温度系数:零点: ≤±0.05% F.S./℃;
调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM
调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格>30SLM
耐压强度:3MPa
漏率:1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料:氟橡胶
工作环境温度:(5~45)℃
输入信号:数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
输出信号:数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
零漂:在没有零点校正时<0.6%F.S./年
电源:±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)
表面化学成分:常态
表面粗糙度:25 Ra
标准接头形式:
双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;
双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头;
φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头;
电源接头形式:D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头
重量:1 Kg