(1)寿命测试范围:5~10000μs;电阻率测量范围:ρ≥2Ω·cm
测电子级参杂硅单晶片(厚度小于1mm),电阻率范围:ρ>0.1Ω·cm(表面可能需要抛光处理)
测量重复性误差≤±20%
(2)光脉冲发生装置
重复频率>20~30次/s,光脉冲关断时间:0.2~1μs,余辉<1μs
红外光源波长:1.06~1.09μm(测量硅单晶),红外光在硅单晶内穿透深度大于500μm如测量锗单晶寿命需另行配置适当波长的光源
脉冲电源:5~20A
(3)高频源
高频振荡源:石英谐振器;频率:30MHz;低输出阻抗,输出功率>1W
(4) 放大器和检波器
放大倍数约25倍,频宽:2Hz~2MHz
(5)仪器配置的光源电极台既可测纵向放置的单晶,亦可测竖放单晶横载面的寿命
可测单晶尺寸:
断面竖测:直径25~150,厚度2mm~500mm
纵向卧测:直径5mm~150mm,长度50mm~800mm