参数
RS RSK RSM RKU RMR RY RMAX RC
测量项目
RPC RK RPK RVK MR1 MR2
图形支承率曲线,粗糙度轮廓,直接轮廓
滤波器 RC, PC-RC, GAUSS, D-P
取样长度(IR) 0.25,0.8,2.5MM
评定长度(IN) LN=LRXN N=1^ 5/r=0.25, Vt=0.135mm/s /r-0.8, Vt=0. 5mm/s
滑行速度/r-2.5, Vt= lmm/s
传感器 Vt=1mm/s
测量原理 位移式差动电感
触针 金刚石,90锥角,5μm针尖半径
测力<4mN
导头 硬质合金,滑行方向半径40mm
示值误差 不大于士10%
示值变动性 不天于6%
电源 内置3300MAH锂离子充电电池,DC5V充电器充电
外形尺寸
主机: 64*53*160MM 驱动器: 23*27*115MM
重量 约380G
工作环境 温度: -20C~ 40C
湿度: <90% RH
储存运输环境
温度: - 40C ~60°C
湿度: <90% RH
测量范围
参数显围
RA, RQ 0.005 um 30 um RZ, R3Z,RY,RT,RP, RM
0.02 um~ 320 um SK 0 ~100-% S,SM 1 MM TP
0-100-%