1、阴极--空心阴极灯
阴极是由被分析元素或含有被分析元素的物质制成。如果金属在空气中稳定并具有高熔点，则阴极材料一般使用纯金属（如银）。如果金属本身比较脆，则一般使用烧结的金属粉末（如锰、钨）。如果金属本身在空气中比较活泼，或具有较高的相对蒸汽压，则一般使用金属的氧化物或卤化物（如镉、钠）。粉末技术也应用于制造含有多种被分析金属的多元素灯。
阴极的直径也是重要的，因为灯的发射强度取决于电流密度。
2、封入的气体
封入的气体必须是单分子气体以避分子震动光谱，因而一般使用惰性的稀有气体。封入气体一般使用乃气或氩气，乃气是好的选择。这是由于其具有更高的电离电位以便具有更高的发射强度。氩气只用于乃气的发射线与被测元素的发射线接近的情况下。用于亥气的质量数较低不仅造成其溅射效应明显较小，而且还会因其气体快速耗尽造成灯的寿命缩短。
封入的低压气体耗尽是由于灯的表面材料吸收造成的。当封入的气体压力低于规定值时则无法持续放电，此时灯的寿命即达到终点。虽然灯仍然能点亮，但已经不能发射出被测元素的共振线了。
3、封套
电极通常使用含有石英或特种硼硅酸盐玻璃制成的光路窗的玻璃进行封套的。光路窗的材料由元素灯的发射线决定的。由于大多数元素的发射线都低于300纳米，此时使用石英材料。高于此波长的一般使用硼硅酸盐玻璃。
4、处理
处理步骤是制造性能灯的关键。处理的主要目的就是去除污染进行纯化。
处理的步骤主要包括抽真空并在灯的外部保持一个适宜的高温。
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