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科研实验材料二硅化钨 无机硅化物 99.5%陶瓷靶材 WSi2陶瓷合金

参数
  • 高纯度产品特性
  • 二硅化钨品名
  • 河北产地
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河北瑞弛新材料有限公司 3年
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产品详情

二硅化钨又名硅化钨,它是一种无机硅化物。二硅化钨是一种黑灰色(蓝黑色)四方晶体。熔点2165℃,密度是9.3g/cm3,熔点2160℃,具有良好的抗氧化性,溶于王水,但是不溶于水,它可以和许多的物质发生剧烈反应,例如强酸、氟、氧化剂和卤间化合物等。WSi2常被用于微电子中作为触电材料,其中电阻是60-80μΩcm。同时它也经常被用多晶硅线上的分流器,从而增加多晶硅线的导电性和信号速度。我们公司专业生产二硅化钨靶材,可以生产平面和柱状靶材,生产工艺有PM,HIP,HP,长度200mm。生产出来的靶材纯度高,密度好,用于真空溅镀沉积二硅化钨薄膜,得到的膜层是良好的导体,适用于微电子等行业。

 

我们生产的二硅化钨元素成分表

ITEM

Chemical composition

Element

W

C

P

Fe

S

Si

Content(wt%)

76.22

0.01

0.001

0.12

0.004

Balance














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