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供应磁控溅射镀膜机——制备多层薄膜multilayers-单层膜monolayers

参数
  • 法国品牌品牌
  • 900S型号
  • 加工定制
上海 普陀区 100天内发货 100台
上海续波光电技术有限公司
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产品详情

  • 配置多个可更换金属靶:Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, TaN


  • 衬底双行星运动,可加载4英寸衬底


  • LOAD LOCK及主腔体均配备分子泵和干泵


  • 可沉积多层膜,可原位应力检测


  • 应用于X-射线等领域.


  • 6个高度可调阴极磁控管


  • 3个1.5kW直流靶,3个1kW射频靶


  • 氩气、氧气、氮气气路,分别配备MFC


  • 全自动电脑控制,半自动和手动模式可用,支持远程维护


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