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- ZX-12ZGL库号：M182307型号
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分子泵管式炉&nbs;型号:ZX-12ZGL
库号：M182307&nbs;&nbs;&nbs;
一、真空泵选型及参数
序号&nbs;名称及规格&nbs;参数&nbs;注
01&nbs;炉体尺寸&nbs;φ100×600&nbs;
02&nbs;真空度&nbs;＜8.0×10-4a
＜6.0×10-6torr&nbs;无炉空载状态
03&nbs;机组使用真空度&nbs;＜1.0×10-3a
＜7.5×10-6torr&nbs;
04&nbs;机组抽速&nbs;600L/S&nbs;分子泵
05&nbs;前泵抽速&nbs;6L/S&nbs;TR-24
06&nbs;抽气口法兰&nbs;LF160&nbs;
07&nbs;启动时间&nbs;小于8min&nbs;
08&nbs;到达使用真空度所需时间&nbs;≤2h&nbs;
09&nbs;冷却方式&nbs;水冷&nbs;水温＜25℃
10&nbs;总功率&nbs;约3kw&nbs;
11&nbs;电&nbs;源&nbs;220V/380V&nbs;50HZ&nbs;
、真空系统说明
1、真空系统为分子泵机组：即为分子泵+旋片泵,FF160+TR-24；由分子泵、旋片真空泵、充气阀、真空档板阀（主阀）、真空档板阀（预抽阀）、真空档板阀（出口阀）、前管路充气阀、连接管路、密封圈、复真空计及配电柜等组成的抽气系统。
2、本机组适宜抽除对有作用和对泵油起反应的气体。它作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、太空模拟实验装置等科技设的真空获得装置。工作环境温度5~40℃，相对湿度于85%，冷却水温度25℃+5℃。
3、真空度与真空泵的抽气能力、舱室的密封性以及舱室材料（炉体内壁、实验器件、热沉等）的放气有关，本机组的压力为5.0×10-4a（3.75×10-6torr）,带空炉体无负载压力为8.0×10-4a（6.0×10-6torr），实际温时的使用压力为1.0×10-3a（7.5×10-6torr），抽气时间约为2小时。
4、分子泵能单形成抽气，由前泵将系统压力至扩散泵要求启动的压力之内，一般为≤10a（7.5×10-2torr），本机组前采用旋片TR-24。
5、为了防止前泵中的真空油在停泵时返流入扩散泵泵腔内，在前真空的进气口配电磁阀，在停泵时自动将系统管路隔离。
6、阀均采用气动动方式，操作方便。
7、在开始抽气时&nbs;,此系统中设置有预抽管路,被抽气体经过分子泵而由前泵直接抽出,这样做避免被抽容器中气体对扩散泵的污染（水分、挥发物、杂），待被抽容器压力至10a（7.5×10-2torr）时,关闭预抽阀、开启挡板阀,分子泵开始对被抽容器开始正常抽气。
三、主要参数：
指&nbs;标&nbs;值&nbs;
设计功率&nbs;12KW&nbs;
额定电压&nbs;380V&nbs;
设计温度1200℃&nbs;
工作温度&nbs;1100℃
升温速率&nbs;≤0.1-15&nbs;℃/min&nbs;（自由调节）&nbs;
热区&nbs;600mm
恒温区&nbs;400mm
控温区&nbs;1区
炉管材&nbs;纯石英管&nbs;
炉管直径&nbs;Φ100mm
控温精度&nbs;±1℃
控温方式&nbs;控硅移相调压+ID调节+程序升降温
热电偶型号&nbs;S型&nbs;双铂铑
热元件&nbs;U型硅碳棒
重&nbs;约240Kg
炉膛材料&nbs;氧化铝纤维
炉壳表面温度&nbs;≤42℃
密封方式&nbs;双硅橡胶圈，锈钢法兰
随机附件&nbs;硅碳棒2支、O型硅橡胶圈4个、隔热塞4个、锈钢钩1把、火手套1双、温手套1副
序号&nbs;名称及规格&nbs;参数&nbs;注
01&nbs;炉体尺寸&nbs;φ100×600&nbs;
02&nbs;真空度&nbs;＜8.0×10-4a
＜6.0×10-6torr&nbs;无炉空载状态
03&nbs;机组使用真空度&nbs;＜1.0×10-3a
＜7.5×10-6torr&nbs;
04&nbs;机组抽速&nbs;600L/S&nbs;分子泵
05&nbs;前泵抽速&nbs;6L/S&nbs;TR-24
06&nbs;抽气口法兰&nbs;LF160&nbs;
07&nbs;启动时间&nbs;小于8min&nbs;
08&nbs;到达使用真空度所需时间&nbs;≤2h&nbs;
09&nbs;冷却方式&nbs;水冷&nbs;水温＜25℃
10&nbs;总功率&nbs;约3kw&nbs;
11&nbs;电&nbs;源&nbs;220V/380V&nbs;50HZ&nbs;
、真空系统说明
1、真空系统为分子泵机组：即为分子泵+旋片泵,FF160+TR-24；由分子泵、旋片真空泵、充气阀、真空档板阀（主阀）、真空档板阀（预抽阀）、真空档板阀（出口阀）、前管路充气阀、连接管路、密封圈、复真空计及配电柜等组成的抽气系统。
2、本机组适宜抽除对有作用和对泵油起反应的气体。它作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、太空模拟实验装置等科技设的真空获得装置。工作环境温度5~40℃，相对湿度于85%，冷却水温度25℃+5℃。
3、真空度与真空泵的抽气能力、舱室的密封性以及舱室材料（炉体内壁、实验器件、热沉等）的放气有关，本机组的压力为5.0×10-4a（3.75×10-6torr）,带空炉体无负载压力为8.0×10-4a（6.0×10-6torr），实际温时的使用压力为1.0×10-3a（7.5×10-6torr），抽气时间约为2小时。
4、分子泵能单形成抽气，由前泵将系统压力至扩散泵要求启动的压力之内，一般为≤10a（7.5×10-2torr），本机组前采用旋片TR-24。
5、为了防止前泵中的真空油在停泵时返流入扩散泵泵腔内，在前真空的进气口配电磁阀，在停泵时自动将系统管路隔离。
6、阀均采用气动动方式，操作方便。
7、在开始抽气时&nbs;,此系统中设置有预抽管路,被抽气体经过分子泵而由前泵直接抽出,这样做避免被抽容器中气体对扩散泵的污染（水分、挥发物、杂），待被抽容器压力至10a（7.5×10-2torr）时,关闭预抽阀、开启挡板阀,分子泵开始对被抽容器开始正常抽气。
三、主要参数：
指&nbs;标&nbs;值&nbs;
设计功率&nbs;12KW&nbs;
额定电压&nbs;380V&nbs;
设计温度1200℃&nbs;
工作温度&nbs;1100℃
升温速率&nbs;≤0.1-15&nbs;℃/min&nbs;（自由调节）&nbs;
热区&nbs;600mm
恒温区&nbs;400mm
控温区&nbs;1区
炉管材&nbs;纯石英管&nbs;
炉管直径&nbs;Φ100mm
控温精度&nbs;±1℃
控温方式&nbs;控硅移相调压+ID调节+程序升降温
热电偶型号&nbs;S型&nbs;双铂铑
热元件&nbs;U型硅碳棒
重&nbs;约240Kg
炉膛材料&nbs;氧化铝纤维
炉壳表面温度&nbs;≤42℃
密封方式&nbs;双硅橡胶圈，锈钢法兰
随机附件&nbs;硅碳棒2支、O型硅橡胶圈4个、隔热塞4个、锈钢钩1把、火手套1双、温手套1副
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