一、试样处理室
(1)钟罩:内径250mm×高度340mm
(2)玻璃处理室:
玻璃罩 A:内径88mm×高度140mm
玻璃罩 B:内径88mm×高度57mm
(3)试样台:直径40mm(大)
(4)试样旋转:电动
(5)挡板:电动
(6)蒸发加热器:可同时安装两个加热器
二、真空系统
(1)抽气系统:由分子泵、机械泵组成的高真空机组
(2)真空检测:金属电阻规、冷规
(3)常用真空度:1.3×10-2~ 6×10- 3 Pa
(4)操作:手动
三、处理电源:
(1)高压电源:DC 2000V 10mA连续可变,用表指示。
(2)低压电源:AC 10V 60A连续可变,电流用表指示。
四、体积重量:
(1)体积:L800mm×W560mm×H1340mm
(2)重量:约150公斤
五、电源要求:AC 220V 50Hz 10A
六、气体要求:氩气--纯度99.(对样品有特殊要求时可使用)