MKY-SBC-12 小型离子溅射仪
产品特点
特殊密封结构,玻璃不易损坏
操作方便,无需培训即可使用
维护***低,无需上门安装
应用领域
本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜,仪器操作简单方便,是样品制备所***的仪器。适用的靶材:金、铂、铬、银、钛、铜、镍、金钯合金等。
技术指标
真空系统:两级直联旋片真空泵
真空检测:皮氏计
真空保护:配有微量充气阀,用于调节离子流的大小
工作气体:空气或氩气
尺寸
工作腔室:内径Ф100 x 130毫米
载物台:小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯;大载物台直径Ф60毫米
金靶尺寸:Ф58毫米