小型离子溅射仪 型号:M31/SD-900库号:M377516
规格 参数
主机 300mm×360mm×380mm(W×D×H)
真空规 拉尼真空计
靶(上部电)尺寸 Φ50mm×0.1mm(D×H),Au(标配)
样品室尺寸 160mm×120mm(D×H),硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
真空度 ≤4×10-2mbar
大电流 50mA
定时器时间 0-360s
真空气阀 可连接φm软管
可通入气体 多种
电压 -1600DCV
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 ~20Kg