双电测四探针测试仪型号:TZ24-RTS-9 库号：M407314

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产品详情

技术指标：
测量范围
电阻率：10 -5 ～10 5 Ω.cm( 可扩展) ；
方块电阻：10 -4 ～10 6 Ω/ □ ( 可扩展) ；
电导率：10 -5 ～10 5 s/cm ；
电阻：10 -5 ～10 5 Ω ；
可测晶片厚度 ≤3mm
可测晶片直径
140mmX150mm(配配 S-2A 型测试台) ；
200mmX200mm(配配 S-2B 型测试台) ；
400mmX500mm(配配 S-2C 型测试台) ；
恒流源
电流量程分为 1µA 、10µA 、100µA 、1mA 、10mA 、100mA 六档，各档电流
连续可调
数字电压表
量程及表示形式 000.00 ～199.99 mV ；分辨力：10µV ；输入阻抗＞1000MΩ ；
精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、量程自动显示；
四探针探头基本指标
间距：1±0.01mm ；针间绝缘电阻：≥1000MΩ ；机械游移率：≤0.3 ％；
探针：碳化钨或高速钢 Ф0.5mm ；探针压力：5 ～16 牛顿( 总力) ；
模拟电阻测量相对误差
( 按按 JJG508-87 进行)
0.01Ω 、0.1Ω 、1Ω 、10Ω 、100Ω 、1000Ω 、10000Ω ≤0.3 ％±1 字
差整机测量大相对误差 ( 用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试) ≤±4 ％
度整机测量标准不确定度 ≤4 ％
测试标准
采用双电测测试标准，通过 RTS-9 双电测测试软件控制四探针测试仪进行测
量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算
出电阻值。仪器主机也可兼容 RTS-8 四探针测试软件实现单电测测试标准，
两套软件可同时使用。

标准使用环境
温度：23±2 ℃；
相对湿度：≤65 ％；
无高频干扰；
无强光直射；