通用参数
型号:CS200-D
阀类型:常开或常闭
流量规格(N2):(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度:
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
线性:±0.5% F.S.
重复精度:±0.2% F.S.
响应时间:≤ 0.8sec
工作压差范围:0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 流量规格>10SLM
温度系数:零点: ≤±0.02% F.S/℃;调节时: ≤±0.05% F.S/℃
耐压:3MPa
漏率:1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料:金属密封
工作环境温度:(0~50)℃
输入信号:数字: RS485 或DeviceNet或ProfiBus
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA或(0~20)mA
输出信号:数字:RS485或 DeviceNet 或ProfiBus
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA或(0~20)mA
零漂:在没有零点校正时<0.6%F.S/年
电源:±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)
表面化学成分:常态
表面粗糙度:25 Ra
标准接头形式:双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套1/4;VCR1/4阳接头;
1.5;C型密封接头;1.5?? W型密封接头
电源接头形式:D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头; ProfiBus接头;模拟接头
重量:1.2Kg