技术数据:
[测量范围]
*(空气,N2):5×10-9…1000 mbar(毫巴)
*精度(N2):≈±30%(在 1×10-8…100 mbar 范围内)
*可重复性:≈±5%(在 1×10-8…100 mbar 范围内)
[输出信号(测量信号)]
*电压范围:0…+10.5 V
*测量范围:1.82…8.6 V
*电压和压力的关系:对数,0.6V/log10 P
*出错信号:<0.5V,无电源
>9.5V,皮拉尼传感器出故障(丝极烧断)
输出阻抗:2×10 Ω
小负载阻抗:10kΩ,防短路
响应时间:(视压力而定)
P>10-6 mbar:<10 ms(毫秒)
P=10-8 mbar:≈1000 ms
识别变送器:85 kΩ,参考电源公用线
状态:引线 6
P>10-2 mbar 仅皮拉尼方式:低=0 V
P>10-2 mbar:低=0 V
冷阴极未点火
仅皮拉尼方式
P>10-2 mbar:高=15…30 VDC
冷阴极点火
皮拉尼/冷阴
极联合方式
LED(发光二极管):高压接通(LED 点亮)
变送器电压:15…30 VDC(脉动≤1 Vpp)
功耗:≤2 W
保险丝 1):≤1AT
电源装置电压,具有大:16…30 VDC
电缆长度:(脉动≤1 Vpp)2)
调节
电位器:在 10-4 mbar 以下调节
电位器:在大气压力下调节
电气连接:FCC68 插座,8 针
传感器电缆:8 极,屏蔽
导线长度:50 m(8×0.14 mm2)
工作电压:≤3.3 KV
工作电流:≥500 μA
接地概念:→见“电气连接”
真空连接一测量公用线:
通过 10 kΩ电阻连接(相对于的大电压
差±50 V,精度±10 V)。
电源公用线—信号
公用线:分别连接
暴露在真空中的材料
真空接头:不锈钢
测量室:不锈钢
引线隔离:陶瓷
内部密封:FPM
阳极:Mo
点火器:不锈钢
皮拉尼测量管:Ni, Au
皮拉尼丝极:W
安装方位:任意
1)Leybold 真空控制器满足这些要求。
2)电源装置的低电压与传感器电缆的长度成比例。
内部容积:≈20 cm3
压力:≤10 巴(绝压压力)
限于惰性气体
温度
操作:+5...+55 ℃
烘烤:150℃(不带电子线路和磁屏蔽)
皮拉尼丝极:120℃
存放:-40º~+65℃
相对湿度:≤80%,在温度≤+31℃时。在 40℃时,减小到 50%
使用:仅在室内,海拔不过 2000m
保护类型:IP 40